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超精密加工的空气净化等级必须达到100~10000级。清洁是最常见的空气净化方式，净化后的加工车间称为洁净室、超洁净室。一般而言，净化主要有两种类型，一种是整体净化，一种是局部净化。局部净化具有经济性，通过使正压的清洁空气流入工作台等
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精密加工的宗旨是为了实现加工极限。随着时间的推移，随着科学技术的发展，这一局限性也在改变，需要长期的摸索和研究。因此，如何坚持“进化加工原则”，通过使用低于加工精度的机械设备，利用先进的工艺技术、计算机伺服、特殊的测量工具等，直接间接满
